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气体知识

常用蚀刻混合气分类

世源气体 www.51qiti.com  更新时间:2008-12-16 11:50:23
    蚀刻就是将基片上无光刻胶掩蔽的加工表面(如金属膜、氧化硅膜等)蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,以便在基片表面上获得所需要的成像图形。
    蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法化学蚀刻所用气体称为蚀刻气体。蚀刻气体通常多为氟化物气体(卤化物类),例如四氟化碳、三氟化氮、三氟甲烷、六氟乙烷、全氟丙烷等。
    常用蚀刻混合气如下:
材质
蚀刻气体

  铝(Al)
  铬(Cr)
  钼(Mo)
  铂(Pr)
  聚硅
  硅(Si)
  钨(W)

  氯硅烷(SiCl4)+四氯化碳(CCl4)+(氩、氮)
  四氯化碳(CCl4)+氧、四氯化碳(CCl4)+空气
  二氟二氯化碳(CCl2F2)+氧、四氟化碳(CF4)+氧
  三氟三氯乙烷(C2Cl3F3)+氧、四氟化碳(CF4)+氧
  四氟化碳(CF4)+氧、乙烷(C2H6)+氯
  四氟化碳(CF4)+氧
  四氟化碳(CF4)+氧

 

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