1：掺杂气：AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、SeH2、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te:

2：晶体生长气：SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2:

3：气相蚀刻气：CL2、HCl、HF、HBr、SF6

4：等离子蚀刻气：SIF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、HFCl2、N2、He、Ar:

5：离子束蚀刻气：C3F8、CHF3、CClF3、CF4

6：离子注入气：AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2:

7：化学气相淀集气：SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2

8：平衡气：N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2